Visual Basic - Cerrar proceso excel

Estoy ingresando datos en un tabla de excel desde un programa echo en visual de esta manera:
Set Xls = CreateObject("Excel.Application")
Set XlsObj1 = Xls.Workbooks.Open(Ruta + "Matriz.xls")
y con este objeto hago los cambion necesarios y guardo la tabla.
despues termino el proceso excel con un algoritmo que baje de internet, el problema esta cuando abro otro libro paralelo a mi programa y cierro el proceso excel desde mi programa este me cierra tambien el libro paralelo que abri anteriormente.
La pregunta es: como puedo cerrar solamente el proceso que estoy utilizando en mi programa sin que se cierren otros que se estan ejecutando paralelamente?
Gracias

Tienes que cerrar el objeto y destruirlo despues de usarlo, aqui hay otra forma de hacerlo mas facil.

En referencias: Microsoft Excel Object Library x.0 (9-10)

Puedes crear el objeto de otra Manera.

Dim objExcel as Excel.Application
Dim strLibro as String

strLibro ="C:Libro.xls"
set objExcel = New Excel.Application
objExcel.Workbooks.Open (strLibro)
objExcel.ActiveWorkbook.SaveAs (App.Path & "\Archivo1.xls")
objExcel.close

Set objExcel= Nothing
Si lo quieres visible solo usa esto:
objexcel.Visible = True
Si no, no lo pongas...
Saludos y suerte.

Perfecto, muchas gracias!!!
Espero no abusar con las preguntas, pero solo me queda una:
Existe alguna forma de matar el proceso, asi como me indicaste pero cuando el usuario cierra el programa desde la cruz de la ventana [ x ]?
Muy agradecido por tu respuesta

Perdon por el lapsus, ya lo hice con el evento Form_Unload
Gracias por la solucion