Visual Basic - Ejecutar programa externo y esperar a que termine

Hola, necesito saber como se puede hacer para que desde una aplicación VB se llame a un programa externo y que la aplicación no continue hasta que no se termine la ejecución de ese programa.

He probado ya con WinExec y con GetExitCodeProcess, y OpenProcess, pero no funciona. El caso es que una vez ejecutado el programa, lo que se hace es borrarlo del disco duro, y claro, como la aplicación no espera para seguir ejecutandose, intenta borrar el fichero cuando todavía está en ejecución, asi que da un error. Alguien sabe como solucionarlo???