Visual Basic para Aplicaciones - error al crear un directorio

Buenas a ver si me podeis ayudar con esto.
Estoy generando carpetas para guardar un archivo en el mismo sitio que tengo
el Excel, entonces el proceso es, primero miro a ver si existe o no y si no
existe creo la primera carpeta y despues algo lo mismo para una carpeta que
debe estar en su interior.

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dir = ThisWorkbook.Path & "\" & directorio & "\" & Range("A" & fila)
carpeta = ThisWorkbook.Path & "\" & directorio

Set fileToBuild = CreateObject("Scripting.FileSystemObject")
If fileToBuild.FolderExists(carpeta) <> True Then
Set stream = fileToBuild.CreateFolder(carpeta)
End If

Set fileToBuild = CreateObject("Scripting.FileSystemObject")
If fileToBuild.FolderExists(dir) <> True Then

Set stream = fileToBuild.CreateFolder(dir)

End If
*************************************************

Bueno el problema es que me da error cuando le ejecuto la primera vez( esto
va dentro de un bucle y se crean diferentes carpetas). La primera vez me crea
la carpeta pero me da error y despues de da con la siguiente carpeta que se
va a crear y asi sucesivamente.
No se porque me puede dar error, me dice que no coinciden los tipos.
Bueno a ver si alguien me lo podria decir.

Gracias.
Un saludo,
Jarfo