JavaScript - Crear checkbox con DOM

Buenas estoy intentando añadir un check dentro de una etiqueta <td> a la que le tengo puesta como id "td1". Buen el caso es que he conseguido que me salga la casilla pero no se como ponerle el nombre al lado..he probado con innerHTML y otras maneras pero nada, alguien sabría como hacerlo, pongo el cacho de código.

var erTd = document.getElementById("td1");
var erInput = document.createElement('INPUT');
erInput.setAttribute("type","checkbox");
erInput.setAttribute("value","valor_checkbox");
erInput.setAttribute("id","id_checkbox");
erInput.setAttribute("name","nombre_checkbox");
erInput.setAttribute("title","titulo_checkbox");
erInput.innerHTML="Haz click aqui";

erTd.appendChild(erInput);

Gracias.

var erTd = document.getElementById("td1");
var erInput = document.createElement('INPUT');
erInput.setAttribute("type","checkbox");
erInput.setAttribute("value","valor_checkbox");
erInput.setAttribute("id","id_checkbox");
erInput.setAttribute("name","nombre_checkbox");
erInput.setAttribute("title","titulo_checkbox");
var texto=document.createTextNode("Haz click aqui ");
erInput.appendChild(texto);
erTd.appendChild(erInput);

Solo tienes que realizar ese simple cambio, por si alguien entra aquí y le vale.

El cambio que tu dices lo he probado pero no soluciona el problema, sigue sin poner el texto al lado de la caja de selección.