SQL Server - tengo error en codigo

Hola!!
Espero me puedan ayudar.
Tengo un problema con una base de datos en sql server, en lo que es la relacion de muchos a muchos.
La primer tabla "software" contiene 4 campos con su llave primaria licencia, y la segunda "cpu" contiene 14 registros con su llave primaria serie_c
Cuando hago la relacion de mucho a muchos con "software" y "cpu" con el siguiente codigo:

CREATE TABLE software_cpu (
licencia VARCHAR(60),
serie_c VARCHAR(60),
fecha_entrega VARCHAR(20),
PRIMARY KEY(licencia, serie_c),
FOREIGN KEY(licencia) REFERENCES software,
FOREIGN KEY(serie_c) REFERENCES cpu
);

al ejecutarlo muestra el siguiente error:

Servidor: mensaje 1774, nivel 16, estado 1, línea 1
El número de columnas de la lista que hace referencia para la clave principal 'FK__software___serie__5FB337D6' no coincide con los de la clave principal de la tabla a la que se hace referencia, 'cpu'.
Servidor: mensaje 1750, nivel 16, estado 1, línea 1
No se puede crear la restricción. Consulte los errores anteriores.

Nose que error tengo, espero me puedan ayudar. Gracias!

Edith

Si no mal recuerdo en mis clases de MODELADO DE BASES DE DATOS, el resolver la relacion MANY-TO-MANY, se hace creado una tabla (entidad) intermedia que liga a ambas tablas (entidades)

Primero, verifica la relación que esté bien definida: que sea de 'muchos' a muchos'. Luego, la longitud y el tipo de datos de la clave principal de la tabla software sea igual a la clave principal de la tabla a la cual hace referencia. Me parece, que éste, es problema de incompatibilidad de datos.

Suerte!